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  低温泵是使用20K以下的低温外表来凝集气体分子以完成抽气的一种泵，是现在具有最高极限真空的抽气泵。

  它首要用于大型真空体系，如高能物理、超导资料的制备、宇航空间模仿站等要求高清洁、无污染、大抽速、高真空和超高真空等场合。

  低温泵又称冷凝泵、深冷泵。按其作业原理又可分为低温吸附泵、低温冷凝泵、致冷机低温泵。前两种泵直接用低温液体（液氮、液氦等）来进行冷却的，本钱比较高，一般仅作为辅佐抽气手法；致冷机低温泵是使用制冷机发生的深低温来进行抽气的泵，其根本结构如图1-4所示。在制冷机的榜首级冷头上，装有辐射屏和辐射挡板，温度处于50-77K，用以冷凝抽除水蒸汽和二氧化碳等气体，一起还能屏蔽真空室的热辐射，维护第二级冷头和深冷板；深冷板装在第二级冷头上，温度为10-20K，板正面润滑的金属外表可以去除氮、氧等气体，不和的活性碳可以吸附氢、氦、氖等气体。经过两极冷头的效果，可以到达去除各种气体的意图，然后取得超高真空状况。

  低温泵作为捕获泵，能用来捕集各种包含有害的或易燃易爆气体，使其凝聚在制冷板上，以到达抽气的意图。可是，作业一段时刻后，低温泵的低温排气才能会下降，因而必须经“再生”处理，即铲除低温凝聚层。

  （1）一旦开端再生处理，就必须铲除完全。这是由于部分升温时会使屏蔽板上冷凝的很多水蒸气转移到内部的深冷吸气板上，严峻危害低温泵的抽气才能。

  （2）再生时应使凝聚层安稳蒸腾，必定不行以使体系内气体压力超越答应值，否则在除氢这类易燃易爆的气体时，一旦漏入空气就有爆破的风险。

  （3）再生时，需谨防来自前级泵的碳氢化合物进入低温泵内污染吸气面，因而要求抽气时刻尽可能短。

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