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罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵作业范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。
在泵腔内,有二个“8”字形的转子互相垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作互相反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有必定的空隙,能轻松完成高转速运转。因为罗茨泵是一种无内紧缩的真空泵,一般紧缩比很低,故高、中真空泵需求前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵自身结构和制作精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了更好的进步泵的极限真空度,可将罗茨泵串联运用。
罗茨泵的作业原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状况,所以,在泵腔内气体没有紧缩和胀大。 但当转子顶部转过排气口边际,v0空间与排气侧相通时,因为排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强忽然增高。当转子持续滚动时,气体排出泵外。
罗茨泵转子由0°转到180°的抽气进程。在0°方位时,下转子从泵进口封入v0体积的气体。当转到45°方位时, 该腔与排气口相通。因为排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°方位时,下转子封入的气体,连同返冲的气体一同排向泵外。这时,上转子也从泵进口封入v0体积的气体。当转子持续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述进程。180°方位和0°方位是相同的。