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是一种无内紧缩的真空泵,一般紧缩比很低,故高、中真空泵需求前级泵。靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而完成抽气的真空泵。
罗茨真空泵机组是指具有一对同步十分快速地旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以独自抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。它的结构和作业原理与罗茨鼓风机类似,作业时其吸气口与被抽真空容器或真空体系主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不触摸,空隙一般为0.1~0.8毫米;不需求用油光滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于确保,故转子型线升/秒(1升=10-3米3);极限线帕。
罗茨真空泵机组的极限真空除取决于泵自身结构和制作精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了更好的进步泵的极限真空度,可将罗茨泵串联运用。罗茨泵的作业原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状况,所以,在泵腔内气体没有紧缩和胀大。 但当转子顶部转过排气口边际,v0空间与排气侧相通时,因为排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强忽然增高。当转子持续滚动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个8字形的转子互相垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作互相反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有必定的空隙,能轻松完成高转速运转。